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XWDS-14336S-THZM智能自动化晶圆片清洗机

◆适用于晶圆片、锗方片、半导体、光学玻璃清洗机。

◆本设备主要由:工控机系统、PLC程序系统、视觉条扫描系统、独立升降/抛动

系统、机械手系统等等组成,从而到达智能自动化;

◆完全解决光学透镜不同产品的混清模式;

◆本设备可自动控制调整及监控(如:跳槽、超声波、抛动/升降、温度、时间、

数据储存、连接网络、自动记忆清洗、检测洗剂PH、检测Dl水电阻率等等) ;

◆设备内部设有20种不同清洗程序(客户可以自行更改) ;

◆通过视觉条形码扫描系统自动识别被清洗产品模式;

◆抛动机构、横移机构、传输机构设计均要做到轻缓、无振动;

◆本机设有远程诊断及采集数据等功能;

◆设有过滤循环系统,清洗液持续干净;

◆弧形间隔有锯形溢水结构,美观实用;

◆采用40KHz/80KHz/100KHz/125KHz等频超声波频率。

◆超声波采用效率高达95%的发生器、功率10-100%可调。

◆多槽超声波清洗工艺,保证清净度。

产品描述